何方でも容易に使用可能な疎水性ウェーハの回収装置です
『SC-3000』は、疎水性ウェーハ表面の微量汚染物質を回収できる 簡易型微量汚染物質回収装置です。 パソコンと接続して多彩な回収パターンを作成し、シリコンウェーハの 表面や側面（ベベル部）から微量金属汚染を回収（サンプリング）します。 また、外部資源をあまり必要とせず、また場所もとらないため、 装置の導入が容易です。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■ウェーハサイズ：100mm～300mmに対応 ■疎水性ウェーハのベベル部の回収が可能 ■半径r1、r2で設定された中心部、ドーナツ部、外周部、全面の回収が可能 ■回収液の供給、サンプリング後の回収液の吸上げが自動 ■回収液を吸上げて汚染されたチップは自動洗浄 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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基本情報
【仕様（一部抜粋）】 ■装置のクリーン度：Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Fe、Ni、Cu、Znの10元素で1×108atoms/cm2以下 ■ユーティリティ：DIW、CDA、AC-100V、チップ洗浄用洗浄液（ボトル） ■使用環境：クリーンドラフト内 ■外形寸法：494W×494D×540H（mm） ■重量：約40Kg ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
価格帯
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企業情報
当社は、表面汚染回収装置を活用した様々なニーズにお応えしてきました。 これまで不可能と思われた親水面の汚染回収も可能にした技術で 貴社の悩みを解決に導きます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
