何方でも容易に使用できる親水性・疎水性ウェーハの回収装置です
『SC-9000』は、親水状態のウェーハからも汚染を回収できる 簡易型微量汚染物質回収装置です。 シリコン以外の材質のウェーハや、バルクエッチング等で 表面が荒れてしまったウェーハに対してもサンプリングが可能できます。 【特長】 ■ウェーハの状態やサンプリング用薬液の種類に対する制限が緩和され、 重金属以外のイオン等の回収も可能 ■従来の疎水面サンプリングも可能 ■サンプリング用薬液の供給や保持具の移動を装置側が自動で実施 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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基本情報
【仕様（一部抜粋）】 ■対応ウェーハサイズ：100mm、125mm、150mm、200mm、300mm ■操作：パソコン ■保持具の装着/脱着：手動 ■サンプリング用薬液の供給：自動 ■サンプリング用薬液の回収：自動 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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企業情報
当社は、表面汚染回収装置を活用した様々なニーズにお応えしてきました。 これまで不可能と思われた親水面の汚染回収も可能にした技術で 貴社の悩みを解決に導きます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。