分光器、光源やステージなどオプション豊富で、小型・軽量・安価なシステム
『FilmSmart』は、膜厚、屈折率n/減衰係数k、透過/反射率、色すべてを 測定できるHMTEK社(台湾)の膜厚測定システムです。 CCD分光器、光源、ステージ、ファイバ集光系、パソコン、ソフトウェア一体型で、 面倒な作業・設定は一切必要なく、簡単に表面・薄膜測定できます。 【特長】 ■測定範囲:200A~400,000A ■波長範囲:380-850nm ■屈折率n・減衰係数k、透過・反射・色測定も可能 ■小型・軽量付属ソフトで簡単測定 ■自動XYステージ:2次元、3次元描画(オプション) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【構成】 ■CCD分光器 ■光源(380~900nm) ■集光系 ■ノートPC(ソフト込み) ■10×10cmステージ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途/実績例
【測定対象】 ■SiO2、NOx、ITO、フォトレジスト、TiO2、多結晶シリコン、ポリイミド、Nb2O5、 サファイア基板の窒化ガリウム、ガラス、シリコン、AI、Cr、PET、PLED など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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