水分を徹底除去！ガス状汚染物質を除去した安価でクリーンなドライエアを供給します
当社が取り扱う、クリーンドライエア供給装置『CDASSシリーズ』を ご紹介します。 水分を徹底除去、さらにNH3、SOx、有機ガスなどのガス状汚染物質を 除去した、安価でクリーンなドライエアを供給します。 超低露点清浄空気供給システム「CDASS-100」や、可搬型クリーン ドライエア供給装置「CDASS-mini」などをご用意しております。 【CDASS-mini 特長】 ■熱源設備を組み込んだオールインワンパッケージ ■電源接続のみでCDAを製造・供給 ■実績のある除湿ロータを使用 ■圧縮空気（圧力スイング方式）と比べて低コスト ■窒素ガス方式と比べてもより安価で安全 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【CDASS-100 特長】 ■除湿ロータを三段直列に用いて、超低露点空気を供給 ■露点温度-100 ℃（8.7wt ppb ）以下の空気でかつ有機・NOxを含む無機のガス状汚染物質と 塵埃を除去したクリーン・ドライエア（CDA）を供給 ■除湿ロータを使用し、安価にCDAを製造・供給 ■ランニングコストは、圧縮空気（圧力スイング方式）と比較して1/5～1/10 ■窒素ガス方式に比べ窒息の心配なし ■15～30m3/minの大風量のCDAを大気圧で供給 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【CDASS-mini 用途例】 ■電子デバイス製造装置の基板搬送用エアベアリングへの供給空気 ■空気中に含まれる水分やケミカルコンタミネーションを嫌う製品 ■研究開発や試作ラインで窒素ガスの代替として ■レチクルのHaze防止 ■レンズの曇り防止 ■ウェハ自然酸化膜防止 ■真空装置内部の水分付着防止 ■有機EL製造ライン ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
企業情報
高砂熱学工業株式会社は、あらゆる用途のビル、工場、施設に対し企画から、設計・施工、メンテナンスに至るまで、末永く高度なテクノロジーを駆使し、空調を軸とした総合的なシステムエンジニアリングを提供している会社です。技術力やノウハウ、実績を蓄積し、建築設備を最適にコントロールするソリューションをご提供。また、IoTやAI（人工知能）等を活用して、当社の技術に派生する新しいサービスを創造し、新規領域を開拓するとともに、グローバル展開を推進してまいります。