シリコンウェーハの1次・2次・仕上げ・エッジ研磨用のスラリー
『Nanopure(TM)シリーズ』は、ニッタ・デュポン株式会社が製造する 高品質なシリコンウェーハ用ポリッシングスラリーです。 高平坦性、低欠陥、高生産性などの優れた研磨性能を安定して発揮します。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【概要】 ■シリコンウェーハの1次・2次及びFinal研磨やエッジ研磨に好適 ■アルカリ性コロイダルシリカベーススラリー ■高研磨レート、高平坦性、低欠陥性を安定して発揮 ■用途にマッチングした豊富なラインアップ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【ラインアップ】 ■シリコン 1次・2次研磨用スラリー ・NP6000番台 ・NP7000番台 ■シリコン Final研磨用スラリー ・NP8000番台 ■シリコンウェーハ エッジ研磨用スラリー ・EG1103 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
アンカーテクノ株式会社では、IC1000やSUBAといった国内外で極めて 高い実績を誇るCMP/研磨パッドからCMP/研磨スラリー、ワーク保持材 (テンプレート/バッキング材)、コンデショナー等、お客様の目的に合致 するご提案が幅広く可能です。 また専門スタッフによるパーティクルカウンター/TOC計/圧力分布測定/ 迅速菌検査キットなど、測定機器の販売やレンタルもございますので、 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。