PBN坩堝等を入れた石英アンプルを封着！高真空排気装置で真空引きをします
『MAT-200VS』は、1ゾーン式・2分割型の石英アンプル真空封着炉です。 事前にアンプル溶着機で上下アンプルを溶接した石英アンプルを使用。 溶融GaAs多結晶、種結晶、As金属、PBN坩堝等を入れた石英アンプルの 封着を行います。 詳しくは、お問い合わせください。 【特長】 ■事前にアンプル溶着機で上下アンプルを溶接した石英アンプルを使用 ■溶融GaAs多結晶、種結晶、As金属、PBN坩堝等を入れた石英アンプルを封着 ■電気炉の中に石英アンプルを入れ、上部細管から真空引きを行う ■高真空排気装置で真空引きする ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【仕様(一部)】 ■電気炉：1ゾーン式 2分割型 ■処理物：石英アンプルφ170mm程度 For 4～6 inch ■最高温度：～600℃ ■常用温度：～400℃ ■昇温速度：R.T.～400℃/2H ■温度分布：400±20℃ 350Lmm程度 ■発熱体：カンタル A1 半円筒型 ■熱電対：K type ■到達真空：9.9*10-4Pa など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【応用】 ■GaAs単結晶をVGF炉で製造する前の前処理装置である ■PBN坩堝を石英アンプルに入れる ■その中に溶融GaAs多結晶、種結晶、As金属、B2O3板等を入れた後に封着する ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社は、化合物半導体、電子材料用の研究開発者向けの特殊な結晶合成や 熱処理向けの炉メーカーとして、従来の垂直型組織を打破し、 迅速に顧客の要望に応えられるフットワークの軽い会社です。 当社の材料の知見と多くの経験に基づいた企画を提案して、 真に顧客の求める炉を製作してまいります。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。