TiW膜を良好にエッチングします。成膜方法や膜構造によりエッチング性能が変化するため、詳しくはお問い合わせください。
本製品の特長は以下のとおりです。 ・良好な順テーパーを形成します。 ・サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。 ・エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 ・エッチング後の残渣がありません。 キーワード:ウェットエッチング、チタンタングステン
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私達は農薬標準品、環境ホルモン関連物質標準品含め、三千種類に及ぶ標準品を取り揃え、全国の各種研究所・調査機関に提供しております。 また、試薬だけでなく、電子工業用薬品の研究開発に取り組み、近年ではユーザーとの共同開発体制を構築し、新機能の提案、性能評価を行い、電子産業の発展を支えています。