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【フォトマスク事例】超音波ドリルによるフォトマスクへの追加工

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最終更新日:2020年12月04日

東洋精密工業株式会社
東洋精密工業株式会社
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ドリル加工機は社内で保有しており、社内一貫加工による短納期対応が可能です!

一部お客様からのご要望により、フォトマスクへの穴開け、ザグリ等の 追加工を行っています。 以前はサンドブラストを使って同様の加工を行っていましたが、超音波 ドリルを使用することで加工形状がよりシャープになり、チッピング等も 軽減することができました。 ドリル加工機は社内で保有しており、社内一貫加工による短納期対応が可能。 またサンドブラスト加工に必要だった原版も不要となり、コスト面でも 有利となります。 【製品仕様】 ■対応材質:ソーダライムガラス、合成石英 など ■加工ワーク寸法:最大□300mm ■位置決め精度:各軸±5μm ■繰り返し精度:各軸±2μm ■ザグリ深さ精度:±20μm(実績値) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【フォトマスク事例】超音波ドリルによるフォトマスクへの追加工

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  • 関連リンク - http://www.toyo-ppm.co.jp/works/1003

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日々進化し続ける先端分野に欠かせないフォトリソグラフィ。私たちはそのフォトリソグラフィ技術を複合的に組み合わせた加工サービスを提供し、皆様のご愛顧を頂戴してまいりました。今後も絶えず技術革新にエネルギーを集中し、確かな技術と豊かな提案力で皆様と明るい未来を創造します。

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