流動変動や衝撃に強い！半導体薬液洗浄装置のインライン用薬液加熱ヒーター
『ECN』は、接液部に全てPFAを使用した半導体薬液洗浄装置の インライン用薬液加熱ヒーターです。 ヒーター過熱アラームセンサーと液漏センサーを内蔵し、停電等の急な シャットダウン時の温度上昇は10℃程度で、流動変動や衝撃に強いです。 また、コンパクト設計により設置が容易なほか、電気制御は既設を 有効利用できます。 【特長】 ■接液部には全てPFAを使用 ■低温ヒーター仕様で薬液を劣化させない ■ヒーター過熱アラームセンサーと液漏センサー内蔵 ■流動変動や衝撃に強い ■コンパクト設計により設置が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■ECN-30P ■ECN-45P ■ECN-60P ■ECN-90P ■ECN-120P ■ECN-240P ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体薬液洗浄装置のインライン用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社では、1995年（平成7年）の設立以来、フッ素樹脂の 総合エンジニアリングとしてその優れた特性を活かした製品の製造を 行っております。 規格品、量産品はもちろん、お客様のニーズに合わせて設計・製作が 可能です。 熟練技能の得意なところ、機械の得意なところ、それぞれを融合させ 更に高品質な製品を提供いたします。
