基材駆動機構を備え、基材を回転・旋回・水平進をすることが可能！加熱ヒーターはカーボン製を採用
『セラミックコーティング装置』は、高真空状態において基材に セラミックをコーティングする装置です。 チャンバー内温度を1200℃近くまで昇温可能。また、大きな特長として、 基材駆動機構を備えており、基材を回転・旋回・水平進をすることができます。 蒸発源として電子銃（JEOL製16KW電子銃）を採用、インゴット状の 蒸発材料に対応する為にルツボ部が昇降・回転制御可能となっています。 成膜制御として、シャッター機構を有していますが、開閉時間の設定や 反復運動の回数設定も行えます。 【特長】 ■高真空状態において基材にセラミックをコーティング ■チャンバー内温度を1200℃近くまで昇温可能 ■基材駆動機構を備えており、基材を回転・旋回・水平進をすることが可能 ■蒸発源として電子銃（JEOL製16KW電子銃）を採用 ■インゴット状の蒸発材料に対応する為にルツボ部が昇降・回転制御可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【その他の特長】 ■成膜制御として、シャッター機構を有しているが、開閉時間の設定や反復運動の回数設定も行える ■加熱ヒーターはカーボン製を採用、ガス種に反応することはない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
1995年創業の真空装置メーカー。25年以上、各薄膜装置・熱処理炉・溶解炉・乾燥炉を中心に「一品一様のカスタマイズ装置」を設計製作しております。 お客さまからのご要望に応じてご提案いたしますので、まずはご要望を「全て」お伺いいたします。