高温環境(最高200℃)で半導体製造プロセスの多種多様なガスに使用可能！お客様の使い勝手に配慮したデザインコンセプト！
『KD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な ダイヤフラムバルブです。 流量の再現性を求められる原子層堆積（ALD）プロセスのプリカーサー （前駆体）供給に好適。 樹脂シートの採用によりメタルシートタイプと比べ高温環境下での シートリークやライフサイクルなどの耐久性能が向上しました。 【特長】 ■高温環境に対応 ■製品誤差がなく交換後も互換性を確保 ■安定して再現性のあるガス流量が得られる ■耐熱性及び耐腐食性に優れたPFAをシート材に採用 ■高温環境下でのシートリークやライフサイクルなどの耐久性能が向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【お客様の使い勝手に配慮したデザインコンセプト】 ＜自動弁＞ ■ジャケットヒーター取付の最適化を考慮したデザイン ・アクチュエータのエアー抜き穴を上面に配置したことで、バルブ側面にジャケットヒーターを 密着させることが可能となり熱ロスを最小限に抑える ＜手動弁＞ ■開閉状態が目視可能な耐熱仕様のハンドルデザイン ・開閉操作部のハンドルや開閉表示板を耐熱仕様にしたことで、材料容器等洗浄時の脱水工程で ハンドル部を外す手間を必要とせずベイクアウト可能 ・気化供給システム等恒温槽を使用した場合も、のぞき窓から開閉状態の確認が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■原子層堆積（ALD）プロセスのプリカーサー（前駆体）供給 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
KITZ SCTは、金属加工技術や溶接技術に加え、広々としたクリーンな環境スペース、超精密洗浄システム、そして独自に開発した超精密研磨技術など、極めて幅広い技術をクロスオーバーさせ、真空から高圧システムまでの各種半導体製造用配管部品の開発製造から販売サービスまで行っています。 また、ISO規格、高圧ガス認定をはじめとし、厳重な品質管理システムを取り入れ、素材の分析評価からプロセス/完成品に至るまでのあらゆる分析評価で総合的なクリーン化を目指し、常に時代のニーズにお応えしてまいります。
