半導体製造などで使われる耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能！シンプルな構造でメンテナンスが可能なL型真空バルブ
『IVB/IVBL』は、従来同様、ボディにSUS304を採用し耐久性、 低コスト化を考慮したL型真空バルブです。 極限まで部品点数を減らしたシンプルな構造により低コスト化を実現し、 容易なメンテナンスが可能なデザインになっています。 ベローズシール構造により高いリーク性能を持っております。 【特長】 ■ステンレスボディの採用により、耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能 ■角型ボディを採用する事により、低コスト化を実現（IVB） ■玉抜きボディを採用する事により、大きなコンダクタンス性能を実現（IVBL） ■ベローズシール構造により高いリーク性能を有する ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様（抜粋）】 ■使用温度：-15～100℃（アクチュエーターはMax70℃） ■使用圧力：1×10^-6～2×10^5 Pa（abs）[0.1MPa（G）] ■標準材質 ・ボディ：SUS304 ・ベローズ：SUS316L ・アクチュエーター：A6063（磁気近接スイッチ用マグネット内蔵） ・シート：フッ素ゴム※表記以外の材質も対応可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
KITZ SCTは、金属加工技術や溶接技術に加え、広々としたクリーンな環境スペース、超精密洗浄システム、そして独自に開発した超精密研磨技術など、極めて幅広い技術をクロスオーバーさせ、真空から高圧システムまでの各種半導体製造用配管部品の開発製造から販売サービスまで行っています。 また、ISO規格、高圧ガス認定をはじめとし、厳重な品質管理システムを取り入れ、素材の分析評価からプロセス/完成品に至るまでのあらゆる分析評価で総合的なクリーン化を目指し、常に時代のニーズにお応えしてまいります。
