圧力制御中にコンダクタンスゼロまで制御可能なペンドロールバルブ
株式会社ブイテックスが取り扱う『APC ペンドロールバルブ』を ご紹介します。 コンダクタンスゼロ中は少ないガス流量で制御可能なので、 貴重なプロセスガスを節約できます。 オプションにより、シール材質の変更をはじめ、加熱仕様(本体)や 硬質アルマイト等の表面処理が可能です。 【特長】 ■低真空制御時には少ないガス流量でも圧力制御が可能 ■コンダクタンスゼロ中は少ないガス流量で制御可能 ■貴重なプロセスガスを節約できる ■操作圧力：1.0-3.0(s) ■寿命：100万回 1M(cycles) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【オプション】 ■シール材質の変更 ■加熱仕様(本体) ■表面処理(硬質アルマイト等) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
《IT・ハイテク産業の発展に貢献します。》 当社は創立以来、各分野において、一貫して特殊バルブの開発・生産を行ってまいりました。 おかげさまでＩＴ分野、特に半導体、ＦＰＤ（液晶、有機ＥＬパネル）、薄膜ソーラーパネル、 ハードディスクの製造に使用される当社の真空バルブはクリーンなバルブとしてユーザーの皆様から厚いご信頼をいただき、 幅広く採用されるまでに成長いたしました。 また当社は、日本で唯一のラプチャーディスクメーカーとして多くの実績を持ち、お客様から高い評価を得ています。 これからも、より高性能な商品の開発、顧客および市場のニーズに応えられる商品アイテムの充実、国内・海外での製造・販売、 アフターサービス体制の一層の強化など産業の発展に寄与できるようにグローバルに取り組んでまいります。