層流や吸排気の管理、エアーの流れ方向の検知に。防爆エリアや高温環境にも対応
当社が取り扱う独・ヘンツ社製の『風速センサ』は、半導体やフィルム、 医薬・食品など様々な業界のクリーンルームで採用されています。 【ラインアップ例】 ■サーマル式風速センサ「TA10シリーズ」 層流や吸排気の流速を適切に管理することが可能 ■ベーン式風速センサ「ZS16/25/30シリーズ」 最高500℃の高温環境でも層流の管理が可能 ZS30タイプは風速と風向きを検知し、ライン内のエアーの 流れ方向を検知可能（オプション） ■ヴォルテックス式風速センサ「VA40シリーズ」 耐薬品性に優れ、防爆ブースでの使用にも対応可能 このほか、センサの付け替えが可能なハンディ型の 「風速計測システム」などもご用意しています。 ※クリーンルームでの適用例も紹介された事例資料を進呈中。 “PDFダウンロード”よりご覧いただけます。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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基本情報
【用途例】 ■クリーンルームの天井から降下する層流や吸排気の管理 ■ウェハー製造工程における洗浄・乾燥による異物除去でのエアー計測 ■金型の異物除去におけるエアー計測 ■クリーンルーム全体、または局所的なエアー計測 ■フィルム製造工程における塗布・乾燥ラインでの風量・風向きの管理 ■GMPに基づいた医薬品製造におけるプロセス管理 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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用途／実績例
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企業情報
●風速測定システム ●温湿度測定システム ●防爆機器 ●ボルティング・テクノロジー・システム その他産業機器輸入販売