加工物のサイズにあわせて装置の選定可能！特長や寸法、キャリア搭載数なども掲載！
当カタログは、スピードファムが取り扱うIAG(酸化物・サファイア・SiC・ GaAs・水晶・セラミックス・金属 他)用装置をご紹介しています。 材質を問わず、ラップ、ポリッシュ加工が可能な標準型の「DSM 16B-5L/P-V」や、 スラリー流量、ALC定寸システム制御の追加で、更なる安定加工が可能な 「DSM10.5B-5L/P-V」などを掲載。 特長や寸法、キャリア搭載数なども詳しくご紹介しております。 【掲載内容】 ■Process and Application ■DSM 16B-5L/P-V ■DSM10.5B-5L/P-V ■FAM 50GPAW-III ■EPRO-212EN ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
スピードファム株式会社は研磨装置などの製造・販売を行っている会社です。 情報社会に技術革新が加速度的に進む現在、先端製品に欠かせない各種デバイス基板に求められる平坦面は、ナノ単位での超精密平面仕上がりが必要とされています。 その超精密加工プロセスにおける平面ニーズは、平行度、定寸管理、平坦度などにおける高精度で厳しい数値目標の達成と高い生産性、さらに歩留まり向上、清浄度維持と要求に限界はありません。 スピードファムは、独創的な技術とノウハウでハードとソフト両面から「装置」と「消耗副資材」を開発してお客様の様々なニーズにお応えし、最適な加工プロセスを提案してまいります。
