加熱したい部分に密着・省エネに貢献「フレキシブル面状ヒーター」

株式会社巴川コーポレーションは、環境省が実施する環境技術実証(ETV)事業において、当社の「フレキシブル面状ヒーター iCas MHE」が従来のマントルヒーターと比較して20％以上の省エネルギー性能を有することが実証されたことをお知らせいたします。なお、技術実証試験においては約42％の削減が確認されています※。 本製品は、被加熱体に密着して加熱できる特長を活かし、従来型ヒーターと比較して効率的な伝熱が可能な技術として、環境負荷低減への貢献が期待されています。 この特長を客観的に評価するため、本製品は環境省ETV事業の実証対象技術として採択され、第三者機関による実証が実施されました。 実証では実稼働を想定した条件下で消費電力等の測定が行われ、被加熱体に密着して加熱する特性により、加熱エネルギーを効率的に伝達できることが確認されました。 また、面全体が均一に発熱する特性により、配管各部で温度差の少ない安定した加熱が可能であることが示されました。 ※環境省ETV事業HP　実証済み技術一覧　実証報告書及び概要版を参照

株式会社巴川コーポレーションが開発した通気性ヒーター部品「iCas MCT」が、株式会社ニコンの半導体露光装置に採用されました。本装置は、2026年12月より販売される予定です。 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　 半導体露光装置には、複雑かつ微細な電子回路パターンをシリコンウェハ上に高い精度で形成すると同時に、生産性やエネルギー効率の向上に貢献する技術が求められます。わずかな温度変動でもパターンの精度に影響を及ぼすため、露光装置内部はmK（ミリケルビン）単位の高精度かつ高速な温度制御が不可欠です。 通気性ヒーター部品「iCas MCT」は、半導体露光装置に今回初めて採用されました。 「iCas MCT」は、紙状・多孔質構造の「ステンレス繊維シート」を発熱体として用いたヒーター部品です。ヒーター部品自体に通気性を持たせ、加熱面に対して垂直方向に空気を通過させ効果的に加熱することで熱容量を抑えつつ、高い温度応答性および昇温性能を実現。また、部品の小型化・軽量化ならびに半導体露光装置の高性能化に貢献しています。

当社は、2026年1月28日（水）〜1月30日（金）に開催される「新機能性材料展 2026」に出展いたします。 是非とも当社ブースにお立ち寄りください。 皆様のご来場を心よりお待ち申し上げております。 【出展製品】 -隙間なく、フレキシブルに貼れる放射線遮蔽材「タングステン担持シート」 -過酷な環境でも使える軽量シート部材「ステンレス繊維シート製フィルター」 -細径配管へのヒーター取り付け作業を効率化「細経配管用 半割ヒーター」 -薄膜で優れた接着性能　5μmから提供可能「絶縁熱接着フィルム SJ41」 -インサート材との密着性・シール性能が向上「インサート成形用シーリングテープ HT56」

当社は、2025年12月17日（水）〜12月19日（金）に開催される「SEMICON Japan 2025」に出展いたします。是非とも当社ブースにお立ち寄りください。 皆様のご来場を心よりお待ち申し上げております。 【出展製品】 ・最高350℃の高温環境下で使用可能「耐熱易剥離接着テープ F-TR」 ・グラスウール使用品と比べて25％省エネ「高性能断熱シート＆断熱ジャケット」 ・細径配管へのヒーター取り付け作業を効率化「細径配管用 半割ヒーター」 ・ヒーター+断熱材で最薄3mmから対応可能 「平面筐体用薄層ヒーター」