薄膜の評価例
薄膜の評価は、その薄膜をどういう目的で利用するかにより決まってきます。 例えば、その薄膜を機械的強度を高めるための成膜に用いるのであれば、評価対象として、硬度や付着性などが重要なファクターであり、光学的特性を付与するのであれば、反射率や透過率と言った数値が重要となります。 当社では下記のような評価機器を用いて、お客様のご要望にお応えすべく努めてまいります。
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基本情報
形態観察 ［ 走査電子顕微鏡 ・ デジタルマイクロスコープ ・ 実体顕微鏡 ］ 元素分析 ［ エネルギー分散型X線分析装置 ］ 付着力測定 ［ 超薄膜スクラッチ試験器 ・ 引っ張り試験器 ］ 光学特性 ［ 分光光度計 ］ 抵抗値計測 ［ 低抵抗計 ・ 高抵抗計 ］ 接触角計測 ［ 接触角計 ］ 硬度計測 ［ マイクロビッカーズ硬さ試験機 ］ 寸法計測 ［ 小型測定顕微鏡 ・ デジタルマイクロスコープ ］
価格帯
納期
用途／実績例
形態観察 元素分析 付着力測定 光学特性 抵抗値計測 接触角計測 硬度計測 寸法計測
詳細情報
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コーティング膜の表面を、スタイラス（針のようなもの）に荷重をかけながら引掻き、膜を強制的に剥がして付着力を計測します。
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コーティング膜と基板（膜を付けた対象物）間の付着力を、ある条件下での相対値で求めます。 成膜の条件を変えた時の付着力の比較に用います。
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イオンプレーティング法にて、10μｍ銀の膜をコーティングした断面写真です。
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マッピングによりSiが多く検出されている箇所がSi元素が多く存在している事を表しています。
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分析でSiが検出されている事が上のグラフで解ります。（特性X線分析）
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ガラスにITO膜をコーティングしたものと、ITO膜の下にSiO2を成膜して2層とした膜の透過率曲線になります。ある波長で透過率に差が見られます。
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指定に従い自動でくぼみ付け後、硬度分布を自動で作成。中心部は生に近く周辺部に行くに従い硬さが増す様子が解ります
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企業情報
弊社ではイオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる 機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。 発足当初より導電性や絶縁性、耐食性など『機能性薄膜』に重点を置き、 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、 試作・開発・研究などの少量から、中小ロットの生産まで、 幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 現在、Φ３００mmサイズの小型機から １０００mm×９００mmの成膜エリアを持つインライン方式の量産機まで 計11台の成膜装置が稼動しております。 なお、お客様からお預かりした基板の開封から成膜品の梱包までの 全工程をクリーンル―ム内で行っております。 機能性薄膜をご検討の際は、お気軽にお声掛けください！ 柔軟な対応と35年以上の実績をもとに、お客様のご要望にお応えします！ ※HPに展示会出展情報も記載しております。 ぜひご覧ください。