さまざまな産業分野の機械・装置での確実で安定したワークの吸着固定を実現します
『ポーラスチャック』は、主に半導体製造工程でダイシングソーやボンダー、 検査装置に組み込まれる部品です。 テーブル表面のポーラス(多孔質)構造と負圧を利用することで、薄い シリコンウェハ等を平面保持することが可能。お客様ごとの仕様・要望に 合わせて適した材質、形状を検討し、都度カスタマイズする”一品物”として 製造します。 また、+αの機能を持たせたユニット品として「HoVaC」や 「面発光ポーラスチャック」等、多彩なタイプをご用意いたします。 【特長】 ■安定吸着 ■多種多様なポーラス体 ■高精度・高品質 ■平面度3μm以下 ■MADE IN JAPAN ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【材質】 ■ポーラス ・アルミナセラミック ・SiC(炭化ケイ素) ・SUS(ステンレス) ・樹脂 ■ボディ ・SUS(ステンレス) ・アルミニウム ・セラミック ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途例】 ■半導体製造装置 ■半導体各種検査・計測装置 ■FPD製造装置、搬送装置 ■画像解析装置、各種描画装置、光学顕微鏡 ■リチウムイオン電池 ■医療機器 ■印刷搬送・塗布 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
カタログ（2）
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企業情報
お客様との会話を通して"こんなものが欲しい"を形に致します。お客様で図面が作成出来なくてもお客様のアイデアを伺いながら当社スタッフが図面作成も行います。 当社は設計から製造、納品までの一貫体制を整えています。