マテリアルズインフォマティクスのためのハイスループット薄膜の作製と評価
機能性材料など開発において“短期間で好適な組成を見出したい”や “組成変化による特性データを蓄積したい”等でお困りではありませんか。 当社では『コンビナトリアル成膜の受託』を行っています。 好適な組成探索をより早く、より正確に対応。 様々な材料について成膜経験があるエンジニアが、お客様のご要望に お応えします。まずはお問合せ下さい。 【特長】 ■コンビナトリアルライブラリ薄膜試料の作製 ■コンビナトリアル特性解析 ■コンビナトリアルマグネトロンスパッタ装置の販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【CMS-6420, 3200の特長】 ■2元& 3元コンビ成膜に対応 ■PCからのレシピ入力&自動成膜に対応 ■タッチパネルで簡単操作（自動排気、成膜プロセス） ■基板加熱可能（標準仕様：最高650℃） ■ロードロック室での高温アニール可能（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
【このような場合はおまかせ下さい】 ■短期間で好適な組成を見出したい！ ■組成変化による特性データを蓄積したい！ ■コンタミ等の懸念があるので自社装置での成膜はちょっと… ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、国立研究開発法人・物質・材料研究機構(NIMS)発の認定ベンチャー として設立され、コンビナトリアル薄膜成膜技術を用いた 新機能性材料開発を行っています。 1つの試料基板上に全ての組成の組み合わせを持つコンビナトリアル・ ライブラリーを作成することによって、機能性材料の開発期間を 著しく短縮し、開発をHigh Troughput化します。