白色干渉顕微鏡搭載！測定から観察、解析まで幅広い用途でご使用いただけます
『OPTIFiS IS-R400』は、画像処理2次元寸法測定機に白色干渉方式の 3次元測定機能を搭載した卓上ハイブリット自動測定機です。 グレースケール画像処理により、カメラのピクセルサイズ以下まで輝度情報を 分解してパターンのエッジを検出し、最小1μmの線幅測定に対応。 白色干渉方式による非接触測定で、広視野と高分解能を両立させた表面形状、 高さ（段差）、粗さ測定が可能です。また、取得した3Dデータを基にした 各種解析機能を豊富に揃え、測定から観察、解析まで幅広い用途でご使用 いただけます。 【特長】 ■高精度XYステージによる精密座標測定 ■画像処理によるμmレベルの微小寸法測定 ■白色干渉によるnm分解能高さ測定・表面形状解析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【白色干渉による3次元形状測定】 ■高さ・段差測定 ■表面粗さ測定 ■3D形状観察・評価 【画像処理による2次元寸法測定】 ■微小寸法形状測定 ■パターン座標測定 ■画像解析・欠陥検査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
【用途】 ■微小寸法、座標、段差、表面粗さの測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、主にFPD（フラット・パネル・ディスプレイ）をはじめとする 電子・電機業界において、計測装置を核に事業を展開しております。 これまでの実績で蓄積した精密機構・レーザー技術・画像処理・光学技術等の 要素技術を融合して、先進の測定技術による商品をお客様にご提案することを 通して、測ることのソリューションをお届けいたします。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。