10nm分解能で位置決め！単軸、多軸に対応したリニアステージ
FBリニアステージは、単軸および多軸アプリケーションで使用できます。 ステージ構成は、クロスローラーベアリング、リニア光学式エンコーダ、およびナノモーション社の超音波（ピエゾ）モータを利用しています。 ステージは幅広い移動⾧で提供され、X / YまたはX / Y / Zまたは他の多軸構成で組み合わせることができます。 エンコーダの分解能は、0.1μｍ、1μｍ、0.5μｍ、50nm、10nmの中から選択可能です。
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基本情報
〇機械的特性の例（FBS100100） ステージプレート素材：アルミニウム-黒アルマイト モータ：HR8モータ ベアリングタイプ：精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付 エンコーダ：ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ ケーブル⾧：3m MTBF（平均故障時間）：30,000Hr ステージ質量：1811g 可動質量：710g RoHS：適合 真空対応オプション：高真空（HV）1.4×10-5Pa（10-7 Torr）まで 超高真空（UHV）1.4×10-8Pa（10-10 Torr）まで 〇性能仕様 移動範囲（mm）：100mm エンコーダー分解能：標準 100nm オプション 10nm 双方向繰り返し精度：標準 1μm オプション 100nm 絶対精度（誤差マップ提供可）：標準 10μm オプション 7μm 最大速度：最大速度250mm /秒
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体、バイオメディカル、および計測機器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
サーボ制御が得意な工苑。 ○油圧サーボ制御では、制御装置の設計や製造、制御ソフトを作成し、協力会社との連携で最適な油圧ユニットと油圧シリンダの設計・製作も行なっています。油圧サーボ弁などの選定も行っています。 ○超音波モータによる高速移動と高精度位置決め ○サーボモータ用ドライバによるロボットや無人搬送車での活用 ○受託開発による建設機械のコントローラや制御装置 ○産学連携による油圧ロボット製作、2軸または6軸モーションベースの設計・製作など動くものを作っています。