真空装置、半導体製造装置に使用する部品を真空中で高温処理します。プロセスの立上げ、工程時間の短縮に貢献します。
クリーンルーム中で真空チャンバを使いグラファイト、セラミックス、メタル部品などの脱ガス処理を行います。表面に付着したガスだけではなく、内部に浸透した水分なども除去できます。 【用途】 ■真空装置、半導体製造用部品などの脱ガス ■グラファイト、セラミックスなどの脱ガス ■部品洗浄後の空焼き ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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企業情報
モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社は、高熱伝導ヒートシンク、ヒータ/静電チャック、セラミックス製品、耐腐食/耐熱コーティングの開発、製造、販売を行っています。また、石英製品やシリコーン製品なども多数取り扱っております。ご用命の際には、お気軽にお問い合わせ下さい。