ウエーハ上のコンタミ除去、マーキング、リペア、プロービングに最適
アクシスプロ「AxisPro」は、従来手作業で熟練を要した分析前処理における属人的微小作業を、どなたにでも簡単容易に出来る様にデサインされたマイクロマニピュレーターシステムです。 アクシスプロ「AxisPro」を使用することにより、作業者の負担が軽減できると共に、正確なサンプリングが可能になる事で、作業の標準化・正確性・再現性が激的に向上します。有機物・無機物を問わず、様々な状況にある微小対象物のハンドリングを可能にしました。 ※詳しくは、以下リンク先よりお問合せください。
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基本情報
【アプリケーション例】 ■ウエーハ上の微小コンタミの除去 ■微細配線パターンのリペア（接続/切除） ■LCD/OELに混入している微小異物をピックアップ ■ビルドアップ基板端子に固着している異物の除去採取 ■イメージセンサーにあるコンタミの除去採取 ■フォトマスクやグレーティングにあるコンタミの分析用サンプリング ■SEM分析用のピンポイントマーキング（ウエーハなど） ■ガラス内部欠陥解析用FIB加工部マーキング ■基板の劈開用スクライビング ■大気非曝露環境下での遠隔微細作業 ■微細配線の把持制御（スポットウェルダー併用）
価格情報
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価格帯
500万円 ~ 1000万円
用途／実績例
マイクロアナリシス試料準備におけるアプリケーション例 ■顕微IRによる混入異物分析（単離・採取・濃縮・面出し・平滑化） ■表面からの深さ方向分析（埋没異物の切削・劣化度測定・多層構造物の単層分析） ■微小結晶を扱う分析全般（XRD解析・高温高圧相挙動解析・蛋白質結晶解析） ■熱分解GC/MS・直接試料導入MS（DEP法） ■FIBリフトアウト（切り出した後のピックアップと受渡し） ■ピンポイントマーキング（樹脂、金属、ガラス、結晶など）
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| APFC-302 | アクシスプロFC 標準セット |
| APSS-304 | アクシスプロSS 電動フルセット |
企業情報
マイクロサポートは、マイクロスコープをベースとした分析前処理用サンプリングシステムのメーカーです。 肉眼では見えない微小異物等を、マイクロスコープ（顕微鏡）で観察しながらマニピュレーターで自在に操作可能なハードウェアとソフトウェアを自社開発にて提供しています。 精密な位置決め技術を応用した新製品開発にも注力しています。