半導体製造工程に使用される材料の精製から、デバイス製造工程に使用される材料やガスに対して幅広く高性能な商品のラインナップ
開発から生産、販売までの一貫体制を採用し、多様な製品ラインナップと高品質の技術力で、顧客のNEEDSに迅速に対応し、品質工場するフィルトレーションソリューションを提供します。 特に半導体製造工程用フィルタに対しては、最先端デバイス適用に向けた除去効率が高く、フィルタの清浄度の高いものまでご用意しております。
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基本情報
ウエハ洗浄技術 HAPES膜、PTFE系膜、金属除去膜 CMPスラリー技術 ロール、メルトブロー型デプスフィルタ ナイロン、PES膜 リソグラフィ技術 UPE、ナイロン、多層膜 純水、各種薬液用 ガス材料用
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用途／実績例
用途の一例 フッ酸系ウエハ洗浄工程用 Novacon 2nm 10インチ カートリッジフィルタ SPM洗浄工程用 Chemrapid 10nm 10インチ ディスポーザブルフィルタ CMP スラリー工程用 Keevalid 50nm ディスポーザブルフィルタ レジストメーカ用 Photopex 1nm 10インチカートリッジフィルタ 塗布現像装置用 Photogile UPE1nm filter
企業情報
Cobetterは、各種精密濾過膜、ナノファイバー、限外濾過膜の研究開発により、世界中の半導体集積回路製造およびバイオ製薬産業に革新的な濾過・精製ソリューションを提供する世界最先端の新規技術を有する会社です。 中国は浙江省杭州に本社を置き、中国上海、日本、韓国、台湾、シンガポールの5箇所に子会社を置き、106カ国にわたる28000社以上の顧客にサービスを提供しております。日本コベッタは2019年2月に設立された小会社の一つであります。 現在、従業員4000人以上でその1000人以上はエンジニアが占め、現在十数種類以上の革新的濾過材を独自に開発し、300件以上の特許技術を所有しております。また、濾過材料の開発に加え、多様な用途に適したフィルタパッケージの開発、シングルユースバック(2D/3D)、クリーンドラムなど流体処理製品の生産からSUSハウジング、ろ過システムの設計・製造・検証まで一貫した濾過・分離産業チェーンを備えています。