ナノ・マイクロ・ミリが一台で測れるトリプルスキャン方式のレーザ顕微鏡
『VK-X3000』は、レーザ共焦点・フォーカスバリエーション・白色干渉の 3つの異なるスキャン原理が一台で使用できるレーザ顕微鏡です。 サンプルワークの素材や形状や測定範囲に合わせて好適なスキャン方式を 選択することにより、高精度に測定が可能。 高さや寸法を計測するだけの従来型の測定ソフトではなく、さらに一歩 踏み込んだ解析を豊富な解析ツールによって思いのままに実現します。 【特長】 ■ナノ・マイクロ・ミリが一台で測れるトリプルスキャン方式 ■292種類の解析ツールにより、知りたいことはこの一台で完結 ■光学顕微鏡からSEMの領域を1台でカバー ■非接触で一瞬にして形状をスキャン ■知りたかった表面の“違い”がわかる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【トリプルスキャン方式の特長】 ■高倍率で高精細にスキャン ・最高倍率28800倍 ・目で見えない微細形状も高精細なデータで粗さまで的確にとらえる ■広範囲を瞬時にスキャン ・最大スキャンエリア50mm角 ・大きな凹凸や手のひらに乗るものも丸ごとスキャン ・全体形状も部分形状も両方把握 ■高分解能で正確にスキャン ・最高分解能0.01nm ・小さな形状変化も正確に捉える ・スキャンが難しい透明体や鏡面体にも対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【測定事例】 ■Siウェハ裏面 3000倍：表面粗さ測定 ■液相成長によるGaAs上のアセット 3000倍：非真空による高倍率撮影 ■カメラマウント部端子 30mm×12mm：端子の形状測定 ■MEMS 2mm×2mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
キーエンスは、ファクトリー・オートメーション（FA）の総合メーカーです。 1974年の会社設立以来、付加価値の創造こそが企業の存在意義であり、 付加価値の創造によって社会に貢献するという考えのもと、 今まで世の中になかった商品の提供を通じて、お客様の課題を解決すること、 新しい価値を生み出し続けること、にこだわり続けてきました。 現在ではFA用センサをはじめとする付加価値の高い商品が、 自動車・半導体・電子・電気機器・通信・機械・化学・薬品・食品など幅広い業界で採用され、 世界46ヵ国250拠点から35万社のものづくりに貢献しています。
