ボールネジ駆動で、耐久性が大幅に向上！高精度チルトアライメントに好適な□100mmサイズ登場！
『ボールネジ駆動スイベルステージ』は、より高分解能での制御が 可能な製品です。 重量が2.8Kg→2.0Kgと28%減少し、ボールネジ駆動で耐久性が大幅に向上。 ウェハーのアライメント等に適しており、ワークの上下に自由な 空間が生まれ、設計の自由度が高まります。 【特長】 ■より高分解能での制御が可能 ■重量が28%Down、2.8Kg→2.0Kg ■ボールネジ駆動で、耐久性が大幅に向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【ラインアップ】 ■SA10A-R2T01（SA10A-R2T01-R） ■SA10A-R2M01（SA10A-R2M01-R） ■SA10A-R2B01（SA10A-R2B01-R） ■SA10A-R2S01（SA10A-R2S01-RRR） ■SA10A-R2L01（SA10A-R2L01-RRR） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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