250℃以上、グレードによっては300℃近い耐熱性を有しています！
当社では、耐プラズマ・耐熱性に優れたOリング製品を取り扱っております。 プラズマ照射下における重量変化率、パーティクルの発生等が少ない パーフロロエラストマーで、極めて優れた各種薬品性及び低ガス透過性も 有しています。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■耐プラズマ、低パーティクル特化品 ■プラズマ、ガス成膜各工程万能品 ■SACVD、アッシングガス特化品 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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基本情報
【用途】 ■半導体製造装置内各種Oリング ■化学プラント用各種シール ■各種食品・医薬品製造プラント用各種シール ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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企業情報
当社は、Oリングをはじめ、オイルシール、Xリング、ガスケット、 ゴム製品の製造・販売を行っております。 ゴム材料の開発・金型設計・成型・検査に至るまで、一貫した体制で皆様の ご期待にお応えいたします。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。