高精度な平面度仕上げに成功！現在使用されているピンチャックの再生にも対応！
株式会社テージーでは、セラミックスの超精密加工事業を行っております。 当社は、トップクラスの精密加工技術を有しており、半導体製造装置部品、 液晶関連部品等の製造に応用。 中でも、半導体露光装置用のピンチャックは、0.2μm以下の高精度な 平面度仕上げに成功し、幅広い半導体メーカー様に採用され、新作だけで なく、現在使用されているピンチャックの再生にも対応しています。 【特長】 ■各露光装置メーカー対応の半導体用ピンチャックの製造・再生を行う ■非接触型レーザー干渉計による正確で精密な平面度測定を実現 ■セラミックスの平面度、平行度、直角度、粗さ等の仕上げ加工に 高い技術力でご要望にお応え ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
