【半導体ガス 高純度ガス】 【超クリーン性能 高精度】 【納期2-2.5ヶ月間】*短納期対応可
本製品は出荷前に100%試験を行い、SEMI 規格に準拠した漏れ、過圧、精度、クリーン度の試験を行い、出荷いたします。 <特徴> ・防爆認証 ATEX, IECEx, ・高精度モデル 総合精度0.3%以内 ・長期安定性 ・外部ゼロ調整機能付き ・EMC性能 ・優れた温度補償性能 <製品基本スペック> 圧力レンジ（最小） -0.1...0.1 MPa 圧力レンジ（最大） -0.1...36.0 MPa 安全超過圧 圧力レンジ×2倍 受圧部材質 プロセスコネクション：316L VIM/VAR 薄膜センサー： 2.4711 / UNS R30003 表面仕上げ エレクトロポリッシュ加工 Ra ≤ 0.13 μm (RA 5); max. Ra ≤ 0.18 μm (RA 7) 出力信号 4 ... 20 mA, DC 0 ... 5 V, DC 0 ... 10 V, 総合精度 0.3%以内 ( 0.2MPa以下では、0.6%以内)
この製品へのお問い合わせ
基本情報
半導体ガス・高純度ガス 圧力トランスデューサ 圧力センサ 圧力トランスミッタ 高精度モデル
価格帯
1万円 ~ 10万円
納期
※短納期対応ご相談下さい
用途／実績例
・半導体製造装置 ・プラズマディスプレイ製造装置 ・ガス集積ユニット ・高純度ガス圧力測定 ・半導体特殊ガス圧力測定
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
「WIKA」はドイツに本社を置く、世界的な計測機器メーカーです。70年以上に渡り、計測機器専門メーカーとして、世界市場で計測機器のトップクラスシェアを維持しています。プラント設備など製造業において広範囲で使用される圧力計・温度計をはじめとする計測機器のヨーロッパシェアNo.1・世界トップクラスメーカーです。現在、全世界40か国以上に展開し、総従業員数9,000名を誇るグローバル企業です。日本支社においては、業績は右肩上がり、大手重工メーカー含め幅広い業界の大手企業と取引実績があります。「計測機器はWIKA」と言われる程にグローバル規模でブランド力が高く、製品力があります。世界40ヶ国以上に拠点があるため、日系企業の海外進出が活発になるにつれて引き合いも強くなり、製品設置後のフォロー含め全て同社で対応できる点が強みです。他競合にはない幅広い製品を揃えているため、顧客のニーズに対して包括的なソリューションを提供する事ができます。