低温成膜可能な高硬度薄膜。低抵抗、高耐食性。SydroDIAMOND (ta-Cコーティング)
FCVA法による、低抵抗、高耐食性膜の水素フリーDLC薄膜。 低温でコーティングを行っているため、基板材料の変形、変質がありません。 量産用インライン型FCVA成膜装置を確立。 【バイポーラプレート保護膜の膜特性】 ■ 腐食抵抗：＜1uA/cm2 ■ 接触抵抗：＜５mΩcm2 (0.6MPa) ■ 鉄イオン溶出量：＜25ppb (96時間テスト後) ■ 硬度 ：~40GPa
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弊社の開発技術は国際特許を取得し社会的にも大きな役割を担っています。 FCVA方式によるスーパーDLC（水素基フリーのta-C膜）（*2）は、 既存のPVD方式やCVD方式により生成されるDLC膜と比較し全く異なるプロセスで成膜されております。 そのほか金属とプラスチックとの離型性に優れた複合金属膜「Micc膜(*3)」があります。 FCVA方式により生成されるコーティング膜は、現在 ハードディスク産業、 精密機械産業、半導体産業などの分野で急速に採用されており、 今後、自動車産業、ナノインプリト産業や生体材料分野への展開が期待されています。
