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イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』

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最終更新日:2023年01月24日

キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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新設計により視認性と機能アップ!自動化装置・遠隔操作用装置に適しています

『P-500』は、10^-2Pa~10^-4Pa以下の高真空からイオンポンプ又は ノーブルポンプを運転する制御装置です。 表示は緑色の大型LEDを採用し、離れた位置からの視認性を向上。 従来モデルとの互換性を考慮しながら、機能アップ、CE、RoHS適合を 実現しています。 充実したI/0機能に加えて、オプションボード追加によってRS232C通信への 対応が可能など自動化装置・遠隔操作用装置に適しています。 【特長】 ■高性能 ■充実の機能 ■高互換性 ■通信対応 ■適合規格:CEマーキング、RoHS指令 適合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    真空ポンプその他プロセス制御
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イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』

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基本情報

【その他の特長】 ■電流値・電圧値のモニタ時の表示可能最小値の改善、圧力表示の追加、各種保護機能など、  高電圧電源に必要な基本機能を高いレベルで実現 ハードプロセス対応 ■セットポイント2点標準装備など各種I/O標準装備で外部制御に対応 停電自動復帰(選択可能) ■従来機種とリモ-トコネクタ、入力ケーブル、出力ケーブルの互換性を確保 ■RS232C(オプション/工場組込対応) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途/実績例

【用途】 ■電子顕微鏡、電子線描画装置 ■イオンビ-ム装置、マスクリペア装置 ■蓄積リング、ビームライン等の加速器関連システム ■MBE、表面分析装置等の超高真空装置、各種分析装置 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』

イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』

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キヤノンアネルバ株式会社

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キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や 真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が 求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。 また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが 掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを 目指してまいります。 今後も、確かな技術力に基づいた 高付加価値製品作りに邁進し、 エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。

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