オイルフリーの超高真空が実現可能！大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極めて経済的です
「チタンサブリメーションポンプ」および「タイバックポンプ」は、 チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜(ゲッター面)を作り、 金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。 イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現可能。 また、小型軽量で取付場所を選びません。 【特長】 ■オイルフリーの超高真空 ■経済的 ■コンパクト設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現可能 ■イオンポンプ、ターボモレキュラポンプ、クライオポンプと併用すると、 大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極めて経済的 ■小型軽量で取付場所を選ばない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
【用途】 ■お手持ちの真空ポンプ(イオンポンプ、クライオポンプ、ターボモレキュラポンプ等) 排気系の排気時間の短縮、到達圧力の向上、排気量の増加を図りたい場合に効果的 ■蒸着、焼鈍、管球排気装置等の超高真空を必要とする装置において、プロセス途中で 大量のガス放出がある場合に効果的 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や 真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が 求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。 また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが 掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを 目指してまいります。 今後も、確かな技術力に基づいた 高付加価値製品作りに邁進し、 エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。