Ø200mm Ø300mm対応露光装置（マスクアライナ）
【主な特長】 ・自社開発のミラー光学系ランプハウスを搭載、照射面内均一性、高照度を実現 ・独自の同軸アライメント方式と高速画像処理技術を採用し、高精度なアライメントを実現。I R方式や裏面方式にも対応 ・独自の光学式ギャップセンサにより、マスクと基板間のプロキシミティギャップを非接触で高速・高精度に設定 ・マスクチェンジャを搭載。最大20枚のフォトマスクを自動交換 ロードポートを最大３基搭載可能
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企業情報
当社は創業以来、匠の技を駆使・伝承し最先端技術を確立してまいりました。「品質第一」「顧客優先」を第一にお客様と共に喜べる製品づくりに努め、数多くの方々から格別なるご指導とご愛顧を賜り、今日まで堅実に成長を遂げております。 独自の光学・精密機構・電子制御・ソフトウェアの技術を持ち、オプトメカトロニクスの複合技術である露光装置を中心に技術力の向上に努めております。また、品質管理と環境管理への取り組みとしてISO9001とKESの認証を取得しております。今後も、お客様のニーズにタイムリーにお応えできる装置づくりを念頭に「高品質」「短納期」「低コスト」に取り組んでまいります。
