φ19コンプレッションポートより導入するカソードを始め、既存装置に合わせた特殊仕様に対応します
『マグネトロンスパッタソース』は、金属・酸化物・半導体等の成膜用の スパッタリング用カソードです。 標準タイプのφ19コンプレッションポートより導入するカソードを始め、 既存装置に合わせた特殊仕様に対応。 ガス導入ノズル、シャッター、パーティクル対策シールド(PGシールド)、 超高真空対応などお客様のニーズに合わせて設計いたします。 【特長】 ■金属・酸化物・半導体等の成膜用 ■お客様のニーズに合わせて設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【仕様】 ■ターゲットサイズ：φ2インチ ■マグネット：Nd/FeB ■最大電力(DC)：1000W ■最大電力(RF)：400W ■電圧：200～1000V ■最大電流：3A ■スパッタ圧：0.3Pa～60Pa ■冷却：水冷2l／min ■オプション：シャッター、PGシールド、斜め入射タイプ、横導入タイプ、首振りタイプ、超高真空対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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当社では、真空部品・機構の設計製作を始め、装置製作やメンテナンス等を 行っております。 既存装置の改造も承ります。 真空機器のことなら当社までお気軽にご相談下さい。