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Mini-BENCH-prism

最終更新日:2026年09月19日

テルモセラ・ジャパン株式会社 本社
テルモセラ・ジャパン株式会社 本社
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最高使用温度2000℃ セミオート制御 真空・大気圧ガス置換 超高温実験炉(カーボン炉、タングステンメタル炉)実験炉

◉最高使用温度 Max2000℃ ◉カスタマイズ自在なヒーター構造: - 円筒状ヒーター:るつぼ内サンプル焼成(固形物、粉体、粒形、ペレット形状サンプル用) - 面状ヒーター:Φ1"〜Φ6"ウエハー、小片チップ焼成用 ◉PLCセミオートコントロール タッチパネル画面で温度調節計以外の全ての操作を行います。 煩わしいバルブ開閉・ポンプ起動操作が不要、焼成作業前の「真空/パージ」サイクルと焼成作業後の「ベント」を1ボタンで自動シーケンスで行います。 ◉MFC最大3系統 自動流量制御(又は手動調整) ◉APC自動圧力コントロール ◉作業中の安全を確保 冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製 堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いただけます。 ◉小型・省スペース 幅603 x 奥行603 x 高さ1,160mm(*ロータリーポンプ筐体内設置) 実験室での小片試料の超高温加熱実験、新素材研究開発などのさまざまな試料加熱実験が、簡単な操作で行えます。 本体は小型でありながらよりさまざまな分野の研究開発にお使いいただけます。

    加熱装置
iPROS_560.jpg

◆Mini-BENCH-prismセミオート式 超高温実験炉◆

iPROS_560.jpg
iPROS_560.jpg MBP-1_1.jpeg IMG_3891.jpeg IMG_3890.jpeg
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基本情報

◆基本仕様◆ ・最高使用温度 Max2000℃ ・使用雰囲気:真空、大気圧ガス置換(Ar, N2, O2)、APCプロセス圧力制御 ・ヒーター:C/Cコンポジット, PGコートC/Cコンポジット(カーボン炉), タングステン(メタル炉) ・断熱材:グラファイトフェルト材(カーボン炉), タングステン/モリブデン,TaCコートグラファイト(メタル炉)、又はW/Mo多層シールド ・面状ヒーター加熱範囲:Φ2inch〜Φ6inch ・円筒状ヒーター加熱範囲:Φ30〜Φ80 x 深さMax100(H)mm ・7inchタッチパネル操作 ・デジタル真空計 ・MFC最大3系統自動調整(又はフロートメーター手動流量調整) ・温度制御:デジタルプログラム調節計、C熱電対 ・到達真空度:10-3Pa台(@1800℃ *但し空炉、高真空ポンプ仕様の場合) ・一次側電源仕様:AC200V 50/60HZ 三相 50A NFB ・冷却水:8L/min, 0.2Mpa 25〜30℃ ◆オプション◆ ・真空排気系:ロータリーポンプ, 高真空ポンプ, バルブ類

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◆主な応用アプリケーション◆ ・新素材開発 ・材料分析 ・その他各種先端材料開発に応用

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Mini-BENCH-prism セミオート式 超高温実験炉 Max2000℃

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薄膜実験装置_「PRODUCTS GUIDE 2025」

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【nanoPVD-S10A】RF/DCマグネトロンスパッタリング装置

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◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置

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【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

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BHシリーズ【超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1800℃

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【SH 高温 基板加熱ヒーター】(Inc/BNプレート Max1100℃)PVD CVD 真空薄膜用 高温 プレートヒーター

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ホットステージ【基板加熱機構】超高温基板加熱ヒーター

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◆HTEヒーター/OLED有機蒸着・高温金属蒸着セル◆ Max1500℃

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【PyroUSB】USB接続式 高精度赤外線温度センサー

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【PyroMini USB】USB接続式小型赤外線温度センサー

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【PyroMini】小型高性能赤外線温度センサー

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【PyroNFC】スマートホン設定式赤外線放射温度センサー

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【PyroCouple】 (パイロカップル)赤外線温度センサー

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★nano BenchTopシリーズ 薄膜実験装置★

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多元マルチスパッタリング装置【MiniLab-S125A】Φ4〜12"対応

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【MiniLab(ミニラボ)】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

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この製品に関するニュース(48)

【PyroMini】小型高性能赤外線温度センサー画像

■□【PyroMini】(パイロミニ)□■ 小型高性能赤外線温度センサー

  • 製品ニュース

高機能タッチパネル変換器で簡単設定・データロギング・microSDカードにデータ保存 PM2.2は光沢金属表面の測定も可能 【概要】 視認性の良い高輝度タッチパネルディスプレーで、温度レンジ・放射率・サンプリングレート等のパラメータを直感的に操作・設定。 microSDカードで長期間のデータ保存・管理が可能です。 (*オプションでディスプレー無しの変換器もあります) φ18mm x 45mmの小型センサヘッドで、狭い場所での温度測定も可能、耐ノイズ性に優れたセンサ・ケーブルを採用しておりますので、ロボットアームなどの動く機器への組込みにも適します。 PM2.2モデルは、短波長2.2um波長を採用、高温(Max2000℃)、光沢性のある金属材料表面の測定などにも対応します。 【特徴】 ◎ ワイドレンジ:-20〜1000℃(PM), 100〜2000℃(PM2.2) ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、240msec高速応答 ◎ 測定波長領域:8〜14μm(PM), 2.0〜2.2μm(PM2.2) ◎ 小型Φ18mm x 45mm

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PyroNFC スマートホン設定式赤外線放射温度センサー画像

★【PyroNFC】スマートホン設定式赤外線放射温度センサー★

  • 製品ニュース

温度範囲・放射率・アラーム等のパラメータをスマートホン、タブレットで設定 表示計器、計器用電源を必要とせず簡単に設定できます。 ● スマホ・タブレットを使い設定を行う事ができます。 ● 専用アプリをGoogle Playから無料ダウンロード(Android4.1〜5.1) ● AndroidのNFC通信を使い、センサ部にタッチするだけで読込み・書出しをします。 ● 超小型センサ(Φ31mm x t29mm)狭い場所でも温度測定が可能。 ● 高速応答125msec、高精度±1.5% ● 電圧出力(0-5V or 0-10V)、又はK熱電対出力 【その他仕様】 ◉ 視野角:15:1 ◉ 温度範囲:0℃〜1000℃ ◉ 測定波長領域:8〜14μm ◉ 放射率: 0.2〜1.0 ◉ 電源:24VDC(最小6V/10V〜最大28VDC) ◉ ケーブル:1m付属(最長30m延長可能) 【オプション】 ◉ 本体固定金具 ◉ 延長ケーブル ◉ エアパージキット

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■□【PyroCouple】□■ 小型非接触式赤外線温度センサー

  • 製品ニュース

小型計量・堅牢ボディ・高精度±1%・240msec高速応答 産業用機械制御用、生産現場の温度監視など多目的に応用できます。 【特徴】 ◎ アンプ・センサ一体型 ◎ 4-20mA出力(標準)、0-50mV、熱電対K, J出力(オプション) ◎ 精度:±1% or ±1℃(いずれか大きい値) ◎ 再現性:±0.5% or ±0.5℃(いずれか大きい値) ◎ 応答速度:240msec ◎ 保護等級:IP65 【その他仕様】 ◉ 視野角:2:1, もしくは15:1 ◉ 温度範囲: ・LT(-20℃〜100℃) ・MT(0〜250℃) ・HT(0〜500℃) ◉ 測定波長領域:8〜14μm ◉ 放射率:0.95(固定) ◉ 電源:24VDC ◉ 本体寸法:Φ18mm(径) x 103mm(長さ) ◉ 重量:約95g ◉ ケーブル1m(標準付属):延長最長3m(オプション)

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PyroUSB高精度赤外線温度センサー画像

■□【PyroUSB】□■ USB接続式 高精度赤外線温度センサー

  • 製品ニュース

【概要】 標準付属の「CalexConfig」とUSBケーブル(1.8m付属)でWindowsPCに接続、PC上でセンサの測定パラメータ設定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 1) 4-20mA出力 2) USB出力(USBバスパワーで動作) 3) 4-20mA/USB出力の同時使用 の3通りの使い方が可能です。 【特徴】 ◎ USBデータロギング/4-20mAアナログ出力の同時使用可能 ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、200msec高速応答 ◉ PUA2:短波長2.0〜2.4μmもカバー、金属表面も測定可能 ◉ PUA5:ガラス表面測定用に最適 波長5μm ◉ PUA8:一般用途 幅広い用途に 波長8-14um 【その他仕様】 ◉ 視野角:15:1, 25:1, 30:1, 又は75:1 ◉ 放射率設定範囲:0.1〜1.0 ◉ 電源:24VDC ◉ 本体寸法:Φ27.6mm(径) x 61mm(長さ) ◉ 重量:約155g ◉ アナログ信号ケーブル1m(標準付属、延長最長30mまで) *USBケーブル1.8m(USBケーブルは延長不可)

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産業用電気機器

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【Endless possibility_thermal engineering...】 当社は半導体・電子機器基礎研究用真空薄膜装置、CVD基板加熱用超高温ヒーター、実験炉、温度計測機器などを販売しております。 いつの時代でも欠かす事のできない「熱」に対する尽きぬ需要、基礎技術開発分野での様々なご要求にお応えすべく、最新の機器を紹介し、日本の研究開発に貢献してまいりたいと考えます。

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