処理速度は75mm/s！ガラス基板をクリーン遠赤外線ヒーターで加熱乾燥します
『IR乾燥炉』は、ローラー搬送によるタクト搬送で処理を行う製品です。 洗浄、エアブロー後の基板を加熱することにより、基板上の微水分を 蒸発させ、乾燥を実施。 ガラス基板をクリーン遠赤外線ヒーター（クラス100）で加熱乾燥します。 【主な仕様】 ■被加熱物：TFT用ガラスパネル（2880×3130×0.6t） ■処理方法：ローラー搬送によるタクト搬送（6°傾斜） ■処理速度：75mm/s（Tact Time：56sec） ■加熱条件：ガラス表面温度 70 ℃以上到達 ■パスライン：FL+1800±25mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社ダン科学は、特にクリーンテクノロジーを中心とした洗浄技術・ 清浄技術・計測技術を核として、幅広い角度から未来を見つめ、創業以来の 開発魂を生かした新製品を作り続けています。 超洗浄装置・空気清浄装置・真空装置の製造から検査までの一貫作業を 清浄環境の中で行っております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。