レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに好適
■コンパクトから大開口まで 小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。 ■スムーズで精確なスキャニング 高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【製品応用例】 ・走査型プローブ顕微鏡 ・顕微鏡試料テーブル ・分光分析機器 ・半導体、FPD関連装置 ・露光装置 ・マッピング測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
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ラインアップ（4）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| PK1L 開口付きX軸ステージ | |
| PK2H / PK2L 開口付きXY軸ステージ | |
| PKVH / PKVL 開口付きZ軸ステージ | |
| PK3H / PK3L 開口付きXYZ軸ステージ |
カタログ（1）
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企業情報
ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。
