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多孔質吸着ステージ

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最終更新日:2022年06月15日

株式会社タイショー
株式会社タイショー
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「バキュームチャック」や「ヒートコマ」などをラインアップ!半導体の製造に関連する製品をご紹介

当社が取り扱っている『多孔質吸着ステージ』をご紹介します。 「バキュームチャック」はダイボンディング時にウエハーを吸着。 また、ピックアップ時に近隣チップの浮きや回りの問題を解消するには 「ポーラスチャック」を推奨します。 この他、「ヒートコマ」はワーク搭載部に多孔質材を使用する事により、 吸着穴が無くても全面均一な吸着が可能です。 【特長】 <バキュームチャック> ■ダイボンディング時にウエハーを吸着 ■カスタムオーダーで様々な材質、形状、パターンの対応が可能 <ポーラスチャック> ■ウエハーシート(チップ)を全面均一に吸着が可能 ■ウエハーシートのたわみ解消 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    その他機械要素
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多孔質吸着ステージ

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  • 関連リンク - https://www.ta1sho.com/porus.html

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基本情報

【その他の特長】 <ヒートコマ> ■ワーク搭載部に多孔質材を使用 ■吸着穴が無くても全面均一な吸着が可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

企業情報

株式会社タイショー

株式会社タイショー

産業用機械

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電話番号・住所

株式会社タイショーは、半導体、液晶、真空、冷却装置開発 精密製品加工を行うため、緑豊かな川越市で創業しました。 企業の社会的責任として環境保全に配慮した活動を推進し 環境に調和した製品作りを通じて豊かな社会の実現に貢献します。

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