希少サンプルを5系統以上に分配可能な真空装置！
『ガス採取装置』は、ガス分析を目的として、希少サンプルを 超高真空とPLCソフトの技術でバルブ制御し、不純物の無い超高真空容器に 5系統以上に分配できる真空装置です。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■ガス分析系：高精度四重極質量分析計 2台搭載 ■サンプルガス分配：5系統（容積確度±5％） ■バルブ開閉：モーター駆動／PLC制御（モータートルク、開閉速度、開閉順番） ■配管真空度：ターボポンプ直上10^(9)Pa台 ■ベーキング温度：配管、バルブ類250℃ ※詳細はお問い合わせください。
