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エキシマランプとは

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最終更新日:2022年06月30日

株式会社クォークテクノロジー
株式会社クォークテクノロジー
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電子部品の実装後の剥がれ防止、密着性など品質向上!大学・研究・開発でご活用いただけます

『エキシマランプ』とは、一般的な放電灯(水銀ランプやキセノンランプ等) と異なる発光原理、構造で、真空紫外光を照射できる光源です。 低温過程で表面処理が可能。ドライ洗浄改質等には不要な可視光、赤外光が 比較的少なく、ワークに対して熱によるダメージを与えません。 また、水銀ランプ(波長185nmと254nm)に比べるとフォトンエネルギーが高い 波長172nmの真空紫外光(VUV)を発生します。 【特長】 ■準単色光 ■低温過程で表面処理が可能 ■波長172nmのエキシマ光を発光 ■瞬時点灯点滅 ■電子部品の実装後の剥がれ防止、密着性など品質向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    紫外線照射装置
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エキシマランプとは

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  • 関連リンク - http://www.quark-tec.com/principle/excimer-3/

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基本情報

【その他特長】 ■二重構造のクォーツガラス管であり、内側には内部電極、外側に外部電極がある ■クォーツガラスの管内には、放電ガスであるキセノンガスが充填 ■RF電源からの電圧印加により、発熱を極めて少なくかつ効率的にクォーツガラス  チューブの間に放電プラズマを発生させるしくみ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【用途】 ■大学・研究・開発 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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株式会社クォークテクノロジーは最先端の光応用技術を利用した各種産業用設備機器の製造販売を行っております。 真空紫外及びUV-LED光源の開発により、半導体製造技術を始め、液晶、PDPからフィルム、ELなどの新規ディスプレイ、各種電子材料及び電子機器の製造技術に導入させていただいております。 そのほか、医療や社会的課題であります廃棄物・環境対策機器の需要に対しても研究開発を計画しております。 あらゆる物質は原子、核子そして「クォーク」から成り立っております。 私たちクォークテクノロジーは、光を研究し産業応用技術へのチャレンジを続けてまいります。

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