高照度・高分布の搬送処理用ユニット！大学・研究・開発でご活用いただけます
当社で取り扱う、エキシマUV照射装置『OVL Series』をご紹介します。 高照度・高分布の搬送処理用ユニット。照度モニター機能を搭載しており、 フィードバック制御が可能です。 ガラス基盤洗浄をはじめ、コーティング前処理や張り合わせ前処理、 ポリマ表面改質にご活用いただけます。 【特長】 ■照度モニター機能 ■フィードバック制御 ■搬送処理に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様（一部）】 ＜QEF-1600＞ ■波長：172nm ■ユーティリティ：N2／冷却水／AC240V ■分布：±10％ ■照射開口：70×1570mm ■対応ワークサイズ：G6 ■照度（管面最大）：180mW／cm2 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【アプリケーション例】 ■ガラス基盤洗浄 ■コーティング前処理 ■張り合わせ前処理 ■ポリマ表面改質 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社クォークテクノロジーは最先端の光応用技術を利用した各種産業用設備機器の製造販売を行っております。 真空紫外及びUV-LED光源の開発により、半導体製造技術を始め、液晶、PDPからフィルム、ELなどの新規ディスプレイ、各種電子材料及び電子機器の製造技術に導入させていただいております。 そのほか、医療や社会的課題であります廃棄物・環境対策機器の需要に対しても研究開発を計画しております。 あらゆる物質は原子、核子そして「クォーク」から成り立っております。 私たちクォークテクノロジーは、光を研究し産業応用技術へのチャレンジを続けてまいります。