マスタースレーブ運転により、大出力化が可能！15kWスパッタ用直流電源のご紹介
『GEXUS』は、半導体成膜（スパッタ）用の電源です。 多段インバータ方式採用により、極めて少ないアークエネルギーを実現。 ワイドレンジインピーダンスで、進化する高性能、高信頼性を有しています。 ユニット単体出力は1.5kW～20kWがあり、マスタースレーブ運転により 最大300kWまで対応できます。 【特長】 ■高信頼性（低故障率） ■オプションでアークサプレッサ有 ■アーク時高速遮断（1us以内遮断） ■低アークエネルギー（1mJ/kW未満） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■進化する高性能、高信頼性 ■多段インバータ方式採用により、極めて少ないアークエネルギーを実現 ■ワイドレンジインピーダンス ■マスタースレーブ運転により、大出力化が可能（最大60kW） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
【用途】 ■半導体成膜用電源 ■スパッタ用電源 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社オリジンは、人類社会に役立つ存在感にあふれ、新たな価値を創造する企業を目指し、 「開かれた企業」「独自性ある企業」「自己実現の場である企業」になることを経営理念としています。 この経営理念の実現と、顧客、取引先、株主、従業員、地域社会など すべてのステークホルダー（利害関係者）の信頼と期待に応え、 かつ、CSR（企業の社会的責任）を果たすことを目的として、オリジングループ行動憲章を制定し行動します。