薬液使用量を大幅に削減できるよう設計したスリットコーター！
当社では、各種メーカー様毎の個別仕様のスリットコーターの設計、製造を 承っております。 オリジナル構想のコンパクト設計により、フットプリントが小さくなります。 また、ノズル脱着が簡単で、メンテナンス性を高めています。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■ランニングコスト低減 ■省スペース、メンテナンス性向上 ■自動搬送対応 ■ワイヤーリフト ■ノズル洗浄機能 ■研究開発用途に適した小型のスリットコーターをラインアップ ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【基本仕様】 ■ワーク：ガラス基板、金属板、フィルム ■サイズ（Max.） ・量産向けスリットコーター：W370～400mm、L470～500mm（±0.1mm） ・研究開発向けスリットコーター：W150～300mm、L150～300mm（±0.1mm） ■厚み：0.3～2.0mm±0.05mm（最大厚さ 2.0mm） ■適合レジスト：ネガレジスト、ポジレジスト、Ag（特殊ノズル） ■粘度：1～200cps（ご相談ください） ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
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企業情報
当社では、主に開発向け装置の設計製作を行っております。 お客様のニーズに応じた様々な難易度の高い新規設備、 部品の開発・設計・製造・国内海外調達・組立・試運転・設置を ゼロから行っています。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。