業界における標準機!満足できる検査速度と精度と簡単なオペレーション
『非接触3D測定システム』は、150mmのXY方向をカバーする機種から 最大移動量600mmまでの広いスキャンエリアをもつ機種まで幅広い機種選択が 可能なシステムです。 「測定に時間がかかる」「精度に不満がある」「自動化が出来ない」といった お悩みはございませんか? 測定速度は業界トップクラスで、回転ステージを持つタイプもあり丸形部品の プロファイルも測定可能。デモ機により本機の特長を実感して頂けます。 【特長】 ■満足できる検査速度と精度 ■簡単なオペレーション ■L-CHRセンサーはスピードと精度の要求に対して良い選択 ■垂直・水平方向の測定で問題無くサブミクロン精度を達成 ■L-CHRセンサーは半導体後工程における標準としてのポジションを確立 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■CyberTechnologies社の機械とソフトウェアは、生産現場で使用されることを前提に 設計されている ■複雑な測定作業も完全に自動化され、訓練を受けていないオペレーターでも取扱いが容易 ■反射率の異なる材料やウェーハ、光学部品、機械部品などに ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途/実績例
【用途】 ■厚膜測定 ■平坦度および反り測定 ■表面粗さ測定 ■リードおよびバンプのコプラナリティ ■透明フィルムおよびコーティングの測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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当社は、Besi社(BE Semiconductor Industries N.V.)および cyberTECHNOLOGIES社(cyberTECHNOLOGIES GmbH)の日本国内総代理店です。 半導体バックエンドプロセスに対応する各種製造装置 および高分解能の三次元形状測定システムをご提供いたします。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。