マイクロビームライン AQUA

基本情報

■スキャンコントロール マイクロイオンビーム分析を行う際は、照射前にビームを絞る作業が入りますが、これまでこの作業には数時間の時間を要しており、 貴重なマシンタイムを消費していました。 そこで、本装置では金属メッシュをイオンビームで走査した際に放射される二次電子の収量曲線からビーム径を自動計算し、 その情報を四重極レンズに流す電流量にフィードバックさせるスキャンコントロールシステムを採用しています。 ■ビーム自動集束システム(ソフトウェア) 四重極レンズに流す電流量を変化させると、四重極レンズ内部の空間の磁場強度が変化し、光学レンズでいう焦点距離を調節することが 出来ます。この自動集束システムによって、照射前のビーム調整作業時間が大幅に削減され、ビームの集束は1時間以内で行えるように なりました。 ■各種コントロールパラメータ マイクロビームラインでは真空ポンプやマイクロスリット、ダイバージェンススリット、Qレンズ、ステージなどで構成されています。 自動集束システムではこれらの機構をソフトウェア上で全て制御することが可能です。

価格帯

納期

用途／実績例

■マイクロPIXE分析 マイクロビームを使って試料を走査することで元素マップの取得が可能です。数µmの分解能で微量元素マップを取得できるので、エアロゾルなどの環境試料や細胞などの生体試料の分析に適しています。 ■ミクロンCT 微小な試料に特化したミクロンの分解能を持つX線CTです。イオンマイクロビームとPIXE法による準単色のX線を組み合わせることで、高コントラスかつ約1µmの高空間分解能を実現可能です。 ■RBS分析 固体中に含まれる原子の組成、量、深さ方向分布を調べることが可能です。定量に用いる散乱断面積や試料中のエネルギーロスなどのデータの信頼性が高いため、標準試料を用いることなく深さ方向組成分析が可能です。