赤外光で非破壊検査
IR 顕微鏡システムSK19001-300 は、シリコンウェハーを透過する近赤外光を用いることで、PC 画面上でウェハー内部の欠陥や接合面の状態の目視確認を行うことができる非破壊の検査システムです。
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基本情報
・赤外線金属顕微鏡 ・ 手動12 倍ズーム ・ 広帯域・高感度の近赤外カメラ(ソニー製InGaAs SWIR イメージセンサー IMX990 採用) ・ 一般のハロゲン光源に比べて明るく・長寿命な近赤外LED 光源 ・ 300mm ウェハー対応の手動ステージ ・ 測距機能付きのWindows 用ビューワーソフト カスタマイズ対応いたします。 別途ご相談ください。
価格帯
500万円 ~ 1000万円
納期
用途/実績例
ウェハー内部の欠陥や接合面の状態の確認用
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当社は、技術支援サービスおよび受託開発サービスを展開する 「機械系・ICT系エンジニアリング」、自社開発・共同開発および受託開発で 新製品を生み出す「電子系エンジニアリング」、そしてエネファームの メンテナンスを請け負う「フィールドエンジニアリング」に加え 「医療機器の製品開発・販売」という4つの領域において、 当社ならではの「技術力」を提供しております。 また、各領域の「技術力」の融合をはかり、柔軟な体制で お客様のさまざまな課題解決を支援しています。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。