優れた費用対効果。ガスレーザーの置き換えにホロ・リソグラフィ向けハンズフリーオペレーションを提供します。
●低コストでの運用可能 ●1 Watt @ 405 nm ●優れたビーム品質、 M² = 1.15(典型値) ●コヒーレンス長 > 100 m ●その他波長ラインナップあり*（229nm、257nm、266nm他） *DUVを含む他の波長につきましてはWEBサイトご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
ホロ・リソグラフィの用途で従来一般的に使用されてきた消費電力の大きいKr+ガスレーザー (406.7 nm 及び 413.1 nm) の置き換えに理想的なレーザーシステムです。The TopWave 405 は405nmで 1 W の出力と優れたビーム品質を実現しています。 ビーム径と M² (typ. 1.15) は、既存のガスレーザのパラメータに合わせて設計されているため、光学系を大幅に変更することなく簡単に従来のシステムに統合することが可能です。 またコヒーレンス長が100m以上と非常に長いため干渉 lithography や holographyにおいて安定したパターン生成が可能になりました。 ガスレーザーは数キロワットの消費電力とハンドリングが煩雑な水冷チラーを必要としますが、“オール半導体レーザー” TopWave 405 方式を採用した TopWave 405 は100W以下の低消費電力で水冷チラーも不要です。運用コストを大幅に低減しオーナシップコストの改善に大きく寄与します。 さらに長寿命の半導体レーザーの採用でメンテナンス周期が長くなり、改修コストを劇的に低減できるメリットもあります。
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納期
用途／実績例
露光用、またAR/VR用回折デバイスの製造
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企業情報
トプティカフォトニクス株式会社は、ドイツToptica Photonics社の日本法人でレーザーシステム・光学機器・テラヘルツ関連製品の輸入・販売・技術サービスを行っている会社です。経験豊富なスタッフがお客様の研究、開発、製造のサポートに全力を注ぎます。基礎物理分野、工学分野などの理化学研究用レーザーはもちろん、装置組込み用などの産業用レーザー製品を多数ご用意しています。ご要望の際は、お気軽にお問合せください。
