プラズマ機能を付加する製品を設計開発し、革新的なプロセス技術を提案します
『プラズマアシストソース』は、半導体製造プロセス用、 プラズマ応用製品です。 プラズマ機能付加により、反応性を促進することが可能。 また、既存プロセス技術にプラズマ機能を付加する製品を 設計開発し、革新的なプロセス技術を提案します。 【製品特長】 ■プラズマクラッキングセル ・蒸気圧が高く、指向性が悪い材料のクラッキング蒸発源 ・昇華蒸発させた材料を活性化させ、オリフィスを介して基板照射 ■ALD用プラズマソース ・ALD装置用、酸素または窒素プラズマ源 ・照射距離を50～100mm調整可能 ・ON/OFF高速応答性とプラズマ安定性に優れる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他製品特長】 ■ラジカルソース ・酸素または窒素ラジカル生成源 ・室内に高周波励起プラズマを発生し、ラジカルビームを照射 ・酸化・窒化薄膜成長用ラジカル源 ・反応効率が高いラジカルームを生成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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