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最終更新日:2022年11月18日

東邦化研株式会社
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膜の厚みがナノレベルのコーティング!材料を蒸発させたり叩き出したりして被膜を形成

「薄膜」は、“はくまく”や“うすまく”と呼ばれ、一般的には膜の厚みが ナノレベルのコーティング(被膜)を指します。 真空装置の中で、膜にしたい材料(金属等)を蒸発させたり叩き出したり して被膜を形成。湿式めっきのように、めっき“液”を使用しないことから “乾式めっき”と呼ばれることもあります。 当社保有装置では、「真空蒸着」「イオンプレーティング」「スパッタリング」 「プラズマCVD」といった薄膜作製法が可能です。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 【当社保有装置で可能な薄膜作製法】 ■真空蒸着 ■イオンプレーティング ■スパッタリング ■プラズマCVD ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【薄膜とは】 ■一般的には膜の厚みがナノレベルのコーティング(被膜) ■真空装置の中で、膜にしたい材料(金属等)を蒸発させたり叩き出したりして被膜を形成 ■湿式めっきのように、めっき液を使用しないことから、乾式めっきと呼ばれることもある ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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弊社ではイオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる 機能性薄膜の受託加工(コーティングサービス)を行っております。 発足当初より導電性や絶縁性、耐食性など『機能性薄膜』に重点を置き、 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、 試作・開発・研究などの少量から、中小ロットの生産まで、 幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 現在、Φ300mmサイズの小型機から 1000mm×900mmの成膜エリアを持つインライン方式の量産機まで 計11台の成膜装置が稼動しております。 なお、お客様からお預かりした基板の開封から成膜品の梱包までの 全工程をクリーンル―ム内で行っております。 機能性薄膜をご検討の際は、お気軽にお声掛けください! 柔軟な対応と35年以上の実績をもとに、お客様のご要望にお応えします! ※HPに展示会出展情報も記載しております。  ぜひご覧ください。

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