ダミーウェーハやターゲットなどに！フッ素系ガス耐食性に優れるAlN部品をご紹介！
古河電子では『半導体製造装置用AlN部品』を取り扱っています。 窒化アルミニウム（AlN）は、熱伝導性・熱放射性（放熱）、耐熱衝撃性、 電気絶縁性に優れ、Siウェーハにマッチした熱膨張をもつ、特性の バランスの良い材料です。 フッ素系ガス耐食性に優れるほか、Siにマッチした低熱膨張で、 温度変化によるウェーハの変形を防ぎ、また、デポ膜の剥離による パーティクル発生を低減します。 【特長】 ■熱伝導・熱放射率が大きく、均熱性が高い ■熱衝撃に強く、急熱・急冷に耐える ■Siにマッチした低熱膨張で、温度変化によるウェーハの変形を防ぐ ■デポ膜の剥離によるパーティクル発生を低減する ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■外形寸法：（最大）Φ／□550mm ■板厚寸法：0.25～30mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体製造装置用（CVD、エッチングなど） ・サセプター各種、静電チャック、ヒーター均熱板 ・真空チャック、ヒーター ■ダミーウェーハ ■ターゲット ■化合物半導体製造装置用部品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
古河機械金属株式会社 電子材料本部は平成17年3月1日付をもちまして会社分割により、 古河機械金属株式会社が100％出資する古河電子株式会社として、発足いたしました。 これにより古河電子株式会社は従来の電子材料事業を古河機械金属株式会社から継承いたしました。 弊社ではこれを契機に経営効率化の向上を進めると共に顧客の皆様にご満足頂ける製品、技術、サービスを提供すべく、役員、従業員一同が一丸となりまして社業に全力を傾注して参る所存でございますので、何とぞご高承の上、今後とも旧に倍するお引き立てとご指導ご鞭撻を賜りますよう宜しくお願い申し上げます。
